首先我們需要檢查減速機的軸承。步驟為先用加熱的礦物油進行清洗，清洗到用手輕輕旋轉內座圈時沒有發現任何方位出現卡緊現象為止，清洗結束后使用塞尺進行游隙檢查。其次我們需要檢查減速機的齒輪，要確保齒輪部位不得有斷齒，齒面也不得出現裂紋或者剝落現象，如有以上現象發生，必須立即更換齒輪或齒面。
再者就是伺服減速機軸的檢查，我們要確保軸徑上的橢圓度和錐度不能大于0.015-0.025mm，軸所以配合尺寸表面粗糙度滿足圖紙技術要求，超差0.02mm時可重復利用，0.02mm以上則需要修復后再進行使用，軸寬度尺寸對于不超過極限尺寸0.04mm的可以復用。對于超過極限尺寸0.04mm的則應該進行更換。